在電子行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生具有腐蝕性、有毒有害的酸性廢氣。以電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)的酸性廢氣治理工程為例,采用“兩級堿PP噴淋塔”廢氣處理設備,廢氣處理效率高于95 %。兩級堿PP噴淋塔廢氣處理設備可達到深度凈化、成本可控、廢氣處理效果穩(wěn)定。
電子元件的超聲清洗、前清洗、腐蝕、蝕刻、淀積、去污、背面蒸發(fā)等生產(chǎn)工藝中,因原輔材料的使用容易產(chǎn)生酸性廢氣。電子行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)的主要產(chǎn)品為鋁電解電容器和電源基板,由于硅片清洗、氧化膜腐蝕、溝槽刻蝕和化學鍍鎳等生產(chǎn)過程中需要使用大量鹽酸,產(chǎn)生大量有組織酸性廢氣,主要成分為氯化氫,該酸性廢氣具有腐蝕、有毒,對周邊環(huán)境和人身安全可能會產(chǎn)生嚴重影響,合理收集和有效凈化處理酸性廢氣已成為電子行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)實現(xiàn)清潔生產(chǎn)的關(guān)鍵。
目前國內(nèi)外對酸性廢氣凈化手段主要包括吸附法、化學法及濕式高壓靜電法等。吸附法利用活性炭等吸附劑的未平衡和未飽和分子引力或者化學鍵力特性對氣態(tài)分子進行捕捉,使氣體污染物濃聚并吸附在活性炭表面,由此實現(xiàn)廢氣凈化。該方法操作原理簡單,吸附量大,熱穩(wěn)定性好,但凈化效率不高,且活性炭消耗量大,具有飽和性,需要定期進行更換。
化學法是利用酸堿中和原理實現(xiàn)廢氣的凈化,如PP噴淋塔處理工藝,該工藝利用高速運轉(zhuǎn)的風機和噴嘴,使吸收液充分霧化,加大吸收液與酸性廢氣的接觸面積,達到凈化目的。PP噴淋塔凈化效率高,經(jīng)濟可行,技術(shù)成熟穩(wěn)定性好,但需要持續(xù)加入調(diào)配好的吸收液。
濕式高壓靜電法主要通過帶電電極放射出電子,把廢氣電離成正負離子,酸性顆粒碰到電子而產(chǎn)生電荷,荷電后的酸性顆粒向電性相反的電極移動后,移向沉淀電極并將電荷傳給沉淀極,失去電荷后的酸霧顆??孔灾亓飨蛟O備底部而得以去除;該方法對酸性廢氣去除率高,但耗電量大,投資成本較高。
不同凈化技術(shù)各有優(yōu)缺點及其使用范圍,電子企業(yè)產(chǎn)生的酸性廢氣腐蝕性強,但現(xiàn)有酸性廢氣處理裝置不能滿足去除率大于95%且廢氣穩(wěn)定達標排放的要求,綜合廢氣特性、凈化效果、經(jīng)濟成本、穩(wěn)定性等因素,電子行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)采用PP噴淋塔以達到酸性廢氣處理高效、經(jīng)濟的效果。
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